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【概要描述】Ø 2 inch 规模量产,Ø 4 inch 小批量供货,Ø 7 inch 样品研发。位错密度:研发水平10³cm⁻²,量产水平10⁵cm⁻²。
作为课题承担单位获得国家重点研究计划“第三代半导体的衬底制备及同质外延”项目支持
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